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文工(销售经理)
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文工(销售经理)
一款三轴精密大理石运动平台，XY轴采用十字叠层结构，可选配R轴用于角度调整，配备高性能直线电机，满足高精密定位需求；Z轴配备精密滚柱导轨，承重大、精度高、刚性好；底座选用高品质大理石，保证运行平面度达到000级，另可选配光栅尺编码反馈，精度更加有保障。用于半导体检测晶圆的调整，光学检测，视觉定位等应用场景
XY轴重复定位精度：±2μm
XY轴定位精度：5μm
有效行程：300mm
最高速度：500mm/s
直线度：6μm/500mm
最大负载：5kg
微米级重复定位精度；
XY轴采用高性能直线电机平台组成；
Z轴标配高精度研磨丝杠，可选配直线电机；
密封防护效果好，无易损件，可有效阻隔粉尘；
底座选用济南青等高品质石材，平面度有保障；
直线电机驱动，光栅尺编码反馈，应用范围广。
| 规格 轴向 | X轴 | Y轴 | Z轴 |
| 重复定位精度 | ±2μm | ±2μm | ±3μm |
| 定位精度 | 5μm | 5μm | 8μm |
| 有效行程 | 300mm | 300mm | 100mm |
| 最高速度 | 500mm/s | 500mm/s | 200mm/s |
| 直线度 | 6μm / 500mm | ||
| 平面度 | 000级 | 000级 | - |
| 最大加速度 | 0.5G | ||
| 最大负载 | 5kg | ||
| 光栅尺分辨率 | 0.5μm | ||
注意：以上参数仅做为选型参数使用，最终参数以出厂产品为准。以上定位精度在实验环境下激光干涉仪补偿后测得。
