18898612261
文工(销售经理)
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文工(销售经理)
一款直驱XY精密运动台，XY轴十字叠层三片式结构，配备自润滑的精密滚柱导轨，承重大、精度高、刚性好等特点，采用光栅闭环反馈和防尘设计，多种行程可选择。用于晶圆切割、激光加工、测试测量、电子元件组装及检验等自动化领域。
重复定位精度：±1μm
定位精度：3μm
有效行程：100 - 350mm
最高速度：300mm/s
直线度：6μm / 500mm
最大负载：10kg
高精度的直驱结构；
中型宽度，高刚度设计；
光栅尺闭环反馈，精度更高；
R轴角度定位，结构扁平薄；
定制高加速度，满足特殊要求；
可选配防尘罩装置，有效防尘。
| 规格 / 轴向 | X轴 | Y轴 |
| 重复定位精度 | ±1μm | ±1μm |
| 定位精度 | 3μm | 3μm |
| 有效行程 | 100 - 350mm | 100 - 600mm |
| 最高速度 | 300mm/s | |
| 直线度 | 6μm / 500mm | |
| 行走平面度 | 000级 | |
| 加速度 | 0.5G | |
| 最大负载 | 10kg | |
| 光栅尺分辨率 | 0.1μm | |
注意：以上参数仅做为选型参数使用，最终参数以出厂产品为准。以上定位精度在实验环境下激光干涉仪补偿后测得。
本文关键词： 精密运动平台
