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XY气浮运动平台

一般环境使用,无尘环境使用
一款XY平面式气浮平台，双驱横梁均采用空气导轨的 H 桥式结构。采用有限元分析优化的气浮轴承补偿设计技术，提高精度的同时，也提高动态性能。可以根据客户需求配置、行程、负载、特殊结构等进行评估定制。用于不同尺寸和工艺的晶圆检测及其他高精密检测应用场景。
产品参数
有效行程：300mm x 300mm
定位精度：0.3μm
双向重复定位精度：±0.1μm
最高速度：1000mm/s
直线度：2μm / 300mm
平面度：000级
最大水平负载：50kg

注意：

1. 以上测试数据在恒温恒湿实验室环境下，测试点位于中心点上方 25mm处，由线性放大器得出。

2. 以上定位精度在实验环境下激光干涉仪补偿后测得。