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XY精密对位平台

一般环境使用
一款高精密XY位移平台，高运动精度和稳定性。非接触式光学编码器以极高的精度直接在平台上测量位置，可选中空设计。采用UP级交叉滚子导轨，具有高负载能力、长使用寿命、使用免保养和高导向精度等多种特点。可配R轴旋转轴，多应用于晶圆检测、电子显微镜平台、LCD封装检测、透镜激光熔覆加工等。
产品参数
单向重复定位精度：0.4μm
双向重复定位精度：±2μm
有效行程：102mm × 102mm
直线度 / 平面度：±2μm
最小位移：0.4μm

注意：以上测试数据均在实验室环境下，仅做为选型参数使用，最终参数以出厂产品为准。