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文工(销售经理)
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半导体精密运动平台XY轴采用直线电机驱动，滑块滚柱导轨导向及光栅尺闭环反馈组成，R轴直驱电机驱动可实现360°旋转，Z轴布置于平台大理石横梁，常用于半导体精密制造及检测。底轴宽度约是上轴长度的2/3，可防止重心不稳定。配备自润滑的精密滚柱导轨，具有精度高、刚性好等特点。
重复定位精度：±1μm
定位精度：3μm
有效行程：100 - 350mm
最高速度：300mm/s
直线度：6μm / 500mm
最大负载：10kg
半导体精密运动平台XY轴采用直线电机驱动，滑块滚柱导轨导向及光栅尺闭环反馈组成，R轴直驱电机驱动可实现360°旋转，Z轴布置于平台大理石横梁，常用于半导体精密制造及检测。
高精度的直驱结构；
中型宽度，高刚度设计；
光栅尺闭环反馈；
R轴角度定位；
定制高加速度；
可选配防尘罩装置。
| 规格 轴向 | X轴 | Y轴 | R轴 |
| 重复定位精度 | ±1μm | ±1μm | ±5 arc sec |
| 定位精度 | 3μm | 3μm | 30 arc sec |
| 有效行程 | 100 - 350mm | 100 - 600mm | - |
| 最高速度 | 300mm/s | - | |
| 直线度 | 6μm / 500mm | - | |
| 行走平面度 | 000级 | - | |
| 加速度 | 0.5G | - | |
| 最大负载 | 10kg | - | |
| 光栅尺分辨率 | 0.1μm | - | |
注意：以上参数仅做为选型参数使用，最终参数以出厂产品为准。以上定位精度在实验环境下激光干涉仪补偿后测得。
本文关键词： 精密运动平台
