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三轴大理石运动平台

一般环境使用,无尘环境使用
一款直驱三轴精密大理石运动台，XY轴十字叠层三片式结构，配备自润滑的精密滚柱导轨，承重大、精度高、刚性好等特点，R轴转台结构扁平薄，可360度旋转，采用光栅闭环反馈和防尘设计。用于晶圆切割、激光加工、测试测量、电子元件组装及检验等领域。
产品参数
重复定位精度：±1μm
定位精度：3μm
有效行程：100 - 350mm
最高速度：300mm/s
直线度：6μm / 500mm
最大负载：10kg

注意：以上参数仅做为选型参数使用，最终参数以出厂产品为准。以上定位精度在实验环境下激光干涉仪补偿后测得。